1、用胶管与冷凝水连接，用真空胶管与真空泵相联。
2、先将水注入加热槽。选用纯水，自来水要放置1-2天再用。
3、调正主机角度：只要松开主机和立柱连结螺钉。主机即可在0-45度之间任意倾斜。
4、接通冷凝水，接通电源220V/50Hz，与主机连接上蒸发瓶（不要放手），打开真空泵使之达一定真空度松开手。
5、调正主机高度：按压下位于加热槽底部的压杆，左右调节弧度使之达到合适位置后手离压杆即可达到所需高度。
6、打开调速开关，绿灯亮，调节其左侧旁的转速旋钮，蒸发瓶开始转动。打开调温开关，绿灯亮，调节其左侧旁的
调温旋钮，加热槽开始自动温控加热，仪器进入试运行。温度与真空度一到所要求的范围，即能蒸发溶剂到接受瓶。
7、智能一体化蒸馏仪蒸发完毕，首先关闭调速开关及调温开关，按压下压杆使主机上升，然后关闭真空泵，并打开冷凝器上方的放空阀，使之与大气相通，取下蒸发瓶，蒸发过程结束。

在半导体制造中，使用洗涤溶液从晶片表面去除金属和其他污染物的洗涤过程占整个工艺过程的约20%-30%。目前，洗涤溶液的更换频率通常基于使用时间来确定的。然而，近年来，降低制造成本和减少环境影响的需求要求更有效地使用洗涤溶液。因此，有必要实时监测污染程度。为了满足这些需求，岛津一直在研究LIBS技术，因为LIBS技术的研发可以利用岛津自身广泛的激光光学和光谱技术优势蒸馏法测氨氮?的具体操作方法。 LIBS是一种可以轻松同时测量多个元素的技术。当样品被激光照射时，它通过样品表面的热蒸发产生等离子体。该等离子体发出特征光是样品所*的。因此，可以通过检测所得光谱来测量元素。通过激光照射在特殊板上蒸发至干燥的样品产生等离子体，然后检测从等离子体发射的光以识别和定量样品中包含的金属元素。检测限为ppm级别。该技术基于LIBS测量原理，提供世界的灵敏度水平(根据岛津截至2018年7月的调查)。目前的原型机尺寸为1 m×1 m蒸馏法测氨氮的?具体操作方法，可与半导体晶圆清洗系统连接。从取样到测量洗涤溶液的整个过程是*自动化的，并且可以在大约一分钟内完成12种痕量金属组分的同时测量，例如铜、铝和钛。由于能够更好地理解合适的洗涤溶液更换频率，使得该技术的实际应用将提供诸如提高产率和降低制造成本等益处。